解说选择测量仪所需的术语

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一、安装状态/安装模式
为了使用激光移位计测量目标物,需要接收器获取目标物的反射光。为了使三角测量方式的测量仪可适当接收反射光,需根据目标物的表面状态,倾斜安装传感头。
 

 
二、参考距离
通过激光移位计测量目标物时,测量值为0的点。一般表示从传感头的下面到测量范围中心的距离。

 
三、测量范围
表示激光移位计可测量目标物位移量的范围。一般以参考距离为基准,表示±○○ mm。例如:参考距离:30 mm,测量范围:±5 mm,则该激光移位计可在以下范围内测量目标物。
 
 
四、测量范围
使用原理为:在非接触测量仪中使用光线从发射器对目标物照光,并用接收器接受其反射光。该光源可使用红色半导体激光、蓝色半导体激光、白光、SLD、绿色LED等多种光。
依照测量仪原理决定使用哪种光源,并使用光源相应的镜头和光接收元件等,可实现高精度的测量。
 
五、光点直径
非接触测量仪一般包括2种光点直径。分为椭圆形状的光点直径和小光点型的光点直径。
椭圆形状的光点直径可测量椭圆内的平均高度,因此不易受到目标物表面粗糙度误差的影响。但光点尺寸变大,因此不适于测量形状和较小部位。
而小光点型的光点直径光点较小,可有效测量形状或细微部位,但同时还会跟踪表面粗糙度,与椭圆形状的光点直径相比,易于受到表面粗糙度误差的影响。

 
六、重复精度
表示重复测量目标物定点时的偏差。
 
七、直线性
直线性是表示测量仪性能的指标。表示理想值与实际测量结果误差的最大值。例如,使用直线性为±5 μm的测量仪移动1 ㎜的目标物时,表示所显示的值可能包含±5 μm的误差(9.995 μm至1.005 μm)。
直线性的规格规定为±○○% of F.S.,F.S.表示测量范围,可按以下示例进行计算。直线性越小的测量仪越可称之为越好的测量仪。
 

 
例如,直线性:0.02% of F.S.、测量范围:±3 mm(F.S.= 6 mm)的测量仪,[直线性] = 0.02% × 6 mm = ±1.2 μm。
 
七、温度特性
温度特性表示传感头的温度变化1度时所发生的测量值误差的最大值。在传感头的内部中,使用了镜头或CMOS及固定这些构件的夹具。因温度变化,上述构件会发生膨胀或收缩,且成像在CMOS上的光点位置变化会产生误差。
温度特性规定为○○% of F.S./℃,F.S.表示测量范围,可按以下示例进行计算。温度特性越小的测量仪越可称之为越好的测量仪。
例如温度特性:0.01% of F.S./℃ 、测量范围:±3 mm(F.S.= 6 mm)的测量仪,
[温度特性] = 0.01% × 6 mm = 0.6 μm。
 
八、环境光照
表示测量仪可不受外部光线影响进行测量的外部光源的最大照度。
 
九、环境温度
保证测量仪动作的温度环境。
 
十、相对湿度
保证测量仪动作的湿度环境。
 
十一、抗震动
表示对测量仪振动影响的指标。表示通过记载的数值进行评估。
一般记载为“10至55 Hz 双向振幅1.5 mm X、Y、Z方向各2个小时”,具体按以下内容进行测试:
对X方向上±0.75 mm 的振幅以10至55 Hz的频率进行2小时变化
对Y方向上±0.75 mm的振幅以10至55 Hz的频率进行2小时变化
对Z方向上±0.75 mm的振幅以10至55 Hz的频率进行2小时变化
 
十二、采样周期/采样速度
表示测量仪在1秒内可测量的数据点数。采样周期为100 Hz的测量仪在每秒可进行100次测量。采样周期越快的测量仪越可准确测量在线移动的目标物,或可进行较多单一时间内的平均化处理,因此能稳定测量值。
 
十三、接收光波形
表示光接收元件接收到的光的状态为接收光波形。纵轴表示光的强度,横轴表示光接收元件上的位置。通过确认接收光波形的形状,可判断是否准确进行当前测量。
1.理想的接收光波形:可稳定测量的接收光波形。


 
2.接收光波形的高度较低时:无法获得充足的反射,因此无法进行测量。

 
3.接收光波形的高度过高时:处于饱和状态。此时,测量值的偏差变大。


 
4.接收光波形的形状左右不对称时:测量树脂等时,激光将进入目标物中,使得接收光波形左右更加不对称。此时的测量值将根据进入量平移实际值。


 
5.存在多条接收光波形时:测量玻璃等透明目标物时,会产生1条以上的峰值。测量玻璃时,可获得表面反射峰值和里面反射峰值总计2条峰值。


 
十四、光轴、光轴区域
将测量仪发射器照射的光的中心轴称为光轴。
光轴区域图表示从发射器到接收器的光的路径。若在该区域内放入夹具等,则光不会照射到目标物或接收器,因此无法进行测量。
 

 
十五、电源电压
驱动产品时所需的电源电压。如果为24 VDC±10%的规格,则表示直流电源,需要电压24 V变动量在±2.4 V以内的电源。
 
十六、最大消耗电流
驱动产品时所消耗的电流量。使用的电源需要选择比该最大消耗电流容量还大的产品。